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電子廠房?jī)艋囬g的要求

電子廠房凈化車間(又稱潔凈車間或無(wú)塵車間是電子產(chǎn)品生產(chǎn)中關(guān)鍵的環(huán)境,它通過嚴(yán)格控制空氣中的微粒、溫濕度和壓力等環(huán)境參數(shù),確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性。那么電子廠房?jī)艋囬g的要求有哪些呢?
一、空氣潔凈度要求
根據(jù)產(chǎn)品類型和生產(chǎn)工藝的不同,凈化車間的空氣潔凈度等級(jí)需滿足《GB 50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》或 ISO 14644 標(biāo)準(zhǔn)。以下為常見等級(jí)要求:
1. ISO 7級(jí)(或萬(wàn)級(jí)潔凈度):適用于普通電子產(chǎn)品裝配車間。
2. ISO 5級(jí)(或百級(jí)潔凈度):用于高精密芯片、半導(dǎo)體制造。
控制要點(diǎn):
1. 每立方米空氣中的顆粒數(shù)量必須符合規(guī)定,例如 ISO 7級(jí)要求每立方米≥0.5μm的顆粒少于352,000個(gè)。
2. 空氣需通過高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)凈化。
二、溫濕度要求
1. 溫度:一般控制在 22±2°C。
溫度過高會(huì)影響設(shè)備運(yùn)行和產(chǎn)品性能,溫度過低可能導(dǎo)致生產(chǎn)工藝不穩(wěn)定。
2. 濕度:?刂圃 45%-60%RH。
濕度過高易引發(fā)設(shè)備腐蝕或材料受潮,濕度過低則可能導(dǎo)致靜電積聚,對(duì)電子產(chǎn)品造成損害。
三、氣流組織與壓力控制
1. 氣流組織:需采用單向流或混合流,確保潔凈空氣自潔凈區(qū)流向污染區(qū)。
2. 壓力梯度:潔凈車間的內(nèi)部壓力應(yīng)高于外界,以防止污染物進(jìn)入。
3. 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差一般要求 ≥5Pa。
4. 同一潔凈區(qū)內(nèi)的壓差保持穩(wěn)定,避免空氣擾動(dòng)。
四、裝修與材料要求
1. 建筑材料:必須使用不易產(chǎn)塵、易清潔、抗腐蝕的材料,如防靜電地板、不銹鋼或涂覆抗菌涂層的墻面。
2. 設(shè)備布置:設(shè)備表面應(yīng)光滑、無(wú)死角,避免灰塵和微粒積聚。
五、人員和物料管理
1. 人員控制:工作人員進(jìn)入車間前需穿戴無(wú)塵服、鞋套、手套,并經(jīng)過風(fēng)淋室除塵。
2. 物料控制:物料在進(jìn)入潔凈車間前需經(jīng)過潔凈傳遞窗或?qū)S镁彌_區(qū),以防外界污染。
六、靜電控制
電子元器件對(duì)靜電非常敏感,因此必須采取有效的防靜電措施:
1. 使用防靜電地板和工作臺(tái)。
2. 所有工具和設(shè)備接地良好,防止靜電積聚。
3. 員工佩戴防靜電手環(huán)。
七、監(jiān)測(cè)與維護(hù)
1. 定期檢測(cè)空氣潔凈度、溫濕度和壓差等關(guān)鍵參數(shù),確保符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
2. 定期更換過濾器、清潔管道和設(shè)備表面,防止污染源積累。
八、適用范圍
電子廠房?jī)艋囬g廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
1. 集成電路、芯片和半導(dǎo)體制造。
2. 精密電子元器件裝配。
3. 光電顯示(如LCD、OLED)產(chǎn)品生產(chǎn)。
4. 電路板制造及檢測(cè)。
通過科學(xué)規(guī)劃和嚴(yán)格管理,凈化車間可有效提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率,同時(shí)滿足電子行業(yè)對(duì)環(huán)境的高標(biāo)準(zhǔn)要求。

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