無塵室是溫濕度主要是根據(jù)產(chǎn)品需求的生產(chǎn)工藝來確定，而且在滿足產(chǎn)品工藝要求的同時還要考慮到工作人員的舒適度。隨著無塵室空氣潔凈等級的提升，各類工藝對于溫濕度的要求也越來越嚴(yán)格。
    總得來說，產(chǎn)品的加工精度越高，對于溫濕度波動的要求也就越高，要求溫濕度波動的范圍也就越小。例如在一些大規(guī)模集成電路的光刻曝光工藝中，直接只有一百微米的材料，如果環(huán)境溫度與要求直接相差了一度，就會造成材料零點幾微米的偏差，在這種高精度要求的無塵室中就是很嚴(yán)重的生產(chǎn)事故。所以，這種工藝甚至是需求溫差保持在正負(fù)零點五攝氏度之間的。
    另外，一些高精度的產(chǎn)品對于濕度的要求也很嚴(yán)格。在一些電子元件的生產(chǎn)中，空氣的潮濕會直接影響到芯片的質(zhì)量。而在大部分的硅類產(chǎn)品無塵室濕度的范圍被嚴(yán)格規(guī)定在了30-45%之間。