在我國(guó)以芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間為代表的電子無(wú)塵室、潔凈室（區(qū)）除了對(duì)微粒的嚴(yán)格控制外，還對(duì)溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴(yán)格，消除靜電對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，從而使環(huán)境達(dá)到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。
  無(wú)塵室（區(qū)）的溫、濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當(dāng)生產(chǎn)工藝無(wú)具體要求時(shí)，其溫度可按20~26℃，相對(duì)濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據(jù)與國(guó)際ISO標(biāo)注接軌的中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB-50073，這類(lèi)潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級(jí)1-9級(jí)，其中1-5級(jí)，氣流流型為單向流或混合流，風(fēng)速0.2-0.45m/s；6級(jí)氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50-60次/h；7級(jí)氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15-25次/h；8-9級(jí)氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10-15次/h。
  根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范，電子制造廠(chǎng)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)
  1、電子制造廠(chǎng)潔凈室垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
  2、電子制造廠(chǎng)潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
  3、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的大值：
  4、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
  5、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40㎡。